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高低溫真空探針臺(tái)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
真空-溫度協(xié)同控制
真空系統(tǒng):分子泵+渦旋泵多級(jí)抽氣,30分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)10^-6 torr級(jí)真空度,支持惰性氣體氛圍切換;
超寬溫域:液氮制冷與電極加熱復(fù)合控溫,控溫穩(wěn)定性±0.1K。
測(cè)量能力
抗干擾設(shè)計(jì):真空屏蔽腔體降低電磁噪聲,支持pA級(jí)微弱電流與μΩ級(jí)電阻測(cè)量;
多通道拓展:標(biāo)配4探針臂(可擴(kuò)展至6探針臂),支持四線法、射頻探針、光電協(xié)同測(cè)試。
產(chǎn)品參數(shù)
腔體
樣品臺(tái)尺寸:2英寸 4英寸
樣品固定:彈簧壓片
觀察窗口:2英寸 4英寸
真空度:10-6 torr
探針臂接口:至多6個(gè)探針臂接口
其它接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式:液氮/液氦 、制冷機(jī)
控制方式:開(kāi)循環(huán)手動(dòng) 、閉循環(huán)自動(dòng)控制
溫度范圍:77K ~ 450K 、4.5K ~ 450K
溫度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K
穩(wěn)定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z移動(dòng)行程:50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度:10μm / 1μm
光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD:200萬(wàn)像素/ 500萬(wàn)像素/ 1200萬(wàn)像素
探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程:50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度:10μm / 1μm
探針夾具
線纜:同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度:10pA / 100fA / 10fA
固定探針:彈簧固定/螺絲固定
接頭類型:BNC /三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
探針
射頻支持:DC-67GHZ
針尖直徑:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
真空組件 分子泵組/機(jī)械泵
冷源組件 50L / 100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)
外形重量 730mm×750mm×1265mm(長(zhǎng)寬高) 約100kg
防震桌參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):氣浮隔振防震桌
隔振方式:空氣彈簧隔振
固有頻率:1.5Hz-2Hz
支撐腿:氣浮支撐腿
產(chǎn)品型號(hào):阻尼隔振防震桌
隔振方式:復(fù)合材料隔振
固有頻率:6Hz-8Hz
支撐腿:阻尼支撐腿
防震桌技術(shù)參數(shù)
材質(zhì):不銹鋼/碳鋼
平面度:0.05mm/m2
粗糙度:<0.8μm
孔距:25×25mm
孔徑:M6
平臺(tái)尺寸(長(zhǎng)寬):可定制
平臺(tái)厚度:50/100/200mm
支撐腿數(shù)量:4只/6只
支撐腿高度:800mm±10mm
其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制
應(yīng)用領(lǐng)域
1.研發(fā)階段:材料與器件的極限性能探索
在新型半導(dǎo)體材料(如鈣鈦礦、氧化鎵)的研發(fā)中,晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料在真空、高溫或低溫條件下的載流子遷移率、擊穿電壓等參數(shù),為材料優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。
2.失效分析:準(zhǔn)確定位缺陷根源
通過(guò)微區(qū)探針掃描技術(shù),配合SEM或FIB聯(lián)用,可對(duì)芯片的短路、漏電等故障點(diǎn)進(jìn)行亞微米級(jí)定位,快速鎖定制造工藝中的缺陷環(huán)節(jié)。
3.量產(chǎn)前驗(yàn)證:提升良率與可靠性
在晶圓出廠前,晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)可對(duì)成千上萬(wàn)個(gè)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)化批量測(cè)試(如接觸電阻、絕緣性能),結(jié)合AI算法實(shí)時(shí)分析數(shù)據(jù),提前篩除次品,降低下游封測(cè)成本。